产品简介
91香蕉视频IOS下载刻蚀机主要由高真空刻蚀腔、真空抽气系统、真空测量系统、压力控制系统、电源系 统、工艺气路系统、冷却系统、电气控制系统和控制软件等部分组成。
91香蕉视频IOS下载刻蚀是一种选择性干法刻蚀方法，用于各种半导体器件、MEMS器件等的制造技 术，蚀刻用于形成非平面微观结构-沟槽或台面结构，以及具有受控角度的倾斜侧壁，其兼 具高精加工精度和再现性。可刻蚀的材料包括但不限于单晶硅、多晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、聚合物等。
产品参数
| 型号 | NE-RE08H |
| 极限真空度 | ≤1×10-4 Pa |
| 91香蕉视频IOS下载发生器 | 射频电源，自动阻抗匹配 |
| 电极最大功率 | ≥600W |
| 样品尺寸 | ≤8英寸晶圆 |
| 91香蕉视频IOS下载体刻蚀不均匀性 | ≤3% |
| 91香蕉视频IOS下载体刻蚀速率 | ≥0.1μm/min（以硅晶圆为基准） |
| 刻蚀材料 | 支持氟基和氧基刻蚀，可刻蚀材料包括但不限于单晶硅、多晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、聚合物等 |
| 工艺气体 | 四路反应气体（SF6、CHF3、O2、Ar等） |
| 电极材质 | 不锈钢 |
| 压力控制系统 | 0.5Pa～5Pa（精度：±1%；） |
| 电极冷却方式 | 水冷 |
| 输入电压 | 380V |
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